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        自动涂胶机

         

        自动匀胶机,采用进口旋转马达,通过精准定位系统,辅以皮带传送,实现光刻胶的自动涂覆,前烘。旋转速度达6000rpm,无故障加工片数多达10000片以上。自动匀胶具有加工速度快,涂覆均匀性好,节省光刻胶等特点。设备具有操作简单,维护量小等特点。

        适用范围广:适用3-6寸芯片
        烘烤温度控制精确:≤1℃(50-150℃),≤2℃(150-200℃)
        旋转速度控制精确:最高转速6000rpm,加速度可在0-5000rpm/sec范围内调节,转速
                        精准度≤1-4%
        涂布均匀性好:片内≤130A,片间≤150A
        设备可靠性高:MWBF(平均故障间隔)≥10000片

         

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